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实验室电子束复合热蒸发镀膜设备

VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能，具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台，配1～3组电阻蒸发源。结构合理紧凑，性能稳定可靠，操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物（ITO等氧化物）/导电薄膜/光学薄膜等。

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科研型超高真空电阻蒸发镀膜设备

VZZ-400 采用完全封闭的系统框架，结构紧凑，外观更漂亮，使用更安全。3～6组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等，特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。

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实验室高真空磁控溅射镀膜设备

VJC系列磁控溅射镀膜设备配备多只圆形平面靶或矩形平面靶，采用DC、DC脉冲、RF电源，该系列设备真空机电一体化设计，结构紧凑；核心部件进口国内组装，性价比高；模块化设计，可扩展性和高可靠性；广泛应用于科研院所、实验室制备单层或多层薄膜，以及新材料、新工艺研究。

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实验室小型热蒸发镀膜设备-性价比高

VZZ-300S 采用大抽速分子泵准无油高真空系统，真空机电一体化设计，两组/三组蒸发源可兼容金属材料与有机材料的蒸镀，性价比高，操控简便。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

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小型磁控溅射镀膜设备

VJC-200磁控溅射镀膜设备配备一只圆形平面靶，可选用DC、DC脉冲、RF电源，该系列设备真空机电一体化设计，结构紧凑；核心部件磁控靶自主研发，性能稳定，性价比高；模块化设计，可扩展性和高可靠性；广泛应用于科研院所、实验室制备单层薄膜，以及新材料、新工艺研究。

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实验室高真空电阻蒸发镀膜设备

VZZ-300 采用大抽速分子泵准无油高真空系统，真空机电一体化设计，两组/三组蒸发源可兼容金属材料与有机材料的蒸镀，性价比高，操控简便。广泛应用于高校、科研院所教学、制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

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