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VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能,具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台,配1~3组电阻蒸发源。结构合理紧凑,性能稳定可靠,操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。
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VZZ-500超高真空多源有机金属蒸发镀膜设备,可配4~12组蒸发源,金属蒸发源与有机蒸发源兼容设计。结构合理紧凑,性能稳定可靠,操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属、无机物及有机物薄膜,以及开展OLED、OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池研究。
VJCB-1800磁控溅射镀膜联合手套箱系统的用户群体为科研院所及实验室,将真空磁控溅射系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD与Glove box硬件无缝对接,操控融合一体,广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域。
VZB系列/OPV系列真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室,将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD与Glove box硬件无缝对接,操控融合一体,广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域。