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VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能,具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台,配1~3组电阻蒸发源。结构合理紧凑,性能稳定可靠,操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。
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