高真空电子束蒸发镀膜设备
VZS-500/VZS-600 高真空电子束蒸发镀膜设备采用完全封闭的系统框架,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。6-10KW e型电子枪可选国产或进口,可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。
主要特点/优势:
★ 完全封闭的系统框架设计,外观更漂亮,使用更安全;是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品;
★ 前开门真空腔体,方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护;
★ 1200L/s或1600 L/s分子泵作为主抽泵,真空极限高达5×10-5Pa(3.75×10-7Torr);另可选进口磁悬浮分子泵或者低温泵作为主抽泵,真空极限高达3×10-6Pa(2×10-8Torr);
★ 6~10KW e型电子枪,4-8穴坩埚可选;
★ 最大180mm基片/15~25mm ITO/FTO玻璃30片/拱形或半球形样品架,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;基片台公转,转速0~25rpm连续可调;平板基底衬底可选择加热或水冷;
★ 更优的薄膜均匀性和重复性,采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;
★ 可沉积金属(Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等)、化合物(ITO等)及有机物材料(进口电子枪);
主要技术指标:
型号 |
VZS-500 |
VZS-600 |
真空室 |
Φ500×H(550~650)mm; |
Φ600×H(600~750)mm; |
304不锈钢真空室,内表面镜面抛光; |
304不锈钢真空室,内表面镜面抛光; |
|
真空系统 |
复合分子泵+合资机械泵 |
进口磁悬浮分子泵/低温泵+进口干泵 |
极限真空 |
优于8×10-5Pa(6×10-7Torr) |
优于3.0×10-6Pa(2.0×10-8Torr) |
恢复真空时间 |
达到5×10-4Pa≤20min; |
|
e型电子枪 |
阳极电压6KV-10KV,带有XY偏转扫描;4穴、6穴、8穴、环形可选,12cc、22cc、40cc等; |
|
基片台 |
180mm方形基片或/拱形、球形基片架,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板; 基片台可选择加热(室温~300℃可调可控)或水冷 |
|
速率与膜厚监控 |
监测厚度范围:0.1Å~99µ9999Å,分辨率0.1Å;监测速率范围:0.1Å~9999.9Å.S/s,分辨率0.1Å |
|
工艺气体配置 |
1~3路工艺气体MFC控制; |
|
离子束清洗及辅助镀膜 |
离子能量:100~600eV、100~1200eV ;离子束流:100~150 mA; 均匀区:Φ100~Φ180mm |
|
电控系统 |
PLC+触摸屏手自一体控制或全自动控制,可编程控制器(PLC) |
|
报警及保护 |
完善的程序互锁,完备的防误操作设计及保护; 系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。 |
|
选配 |
冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源 |
|
设备配电 |
电压:AC380V/50HZ |
|
功率:≤15KW |
||
设备尺寸 |
长×宽:2500×1000mm |
技术支持&服务:
1. 技术支持:在合同签订之前,我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下,为客户做出最优的选型和方案设计,使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等,以帮助客户做出正确的选择。
2. 安装与培训:在产品使用前,我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。
3. 产品质保:我们对产品提供12个月的质保期,在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。(耗材和易损件除外)
4. 终身维护:我们对提供的产品提供终身服务,对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费,免除一切人工费用。