高真空磁控溅射复合电阻蒸发多功能镀膜设备
VZZ-400超高真空电阻蒸发镀膜设备采用完全封闭的系统框架，外观漂亮，使用安全。3～6组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校材料、物理、化学、电子、能源等相关学科以及科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等，特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。
主要特点/优势：
★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全；是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品；
★ 前开门真空腔体，方便取放基片、更换蒸发舟、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；
★ 1200L/s分子泵作为主抽泵，真空极限高达5×10-5Pa(3.75×10-7Torr)；另可选进口磁悬浮分子泵或者低温泵作为主抽泵，真空极限高达3×10-6Pa(2×10-8Torr)；
★ 3～6组水冷式蒸发电极，可长时间稳定工作，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计，源间有防止交叉污染隔板；
★ 专业真空蒸发电源，恒流/恒功率控制。电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能；
★ 最大120mm基片/15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；
★ 衬底可选择加热或水冷，源基距最大350mm；
★ 更优的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
★ 可沉积金属（Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等）、非金属、化合物（MoO3, LiF等）及有机物材料，可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜；
★ 设备集成度高，结构紧凑，占地面积小（1.12平米）；设备配脚轮，方便移动和定位。
主要技术指标：
|
型号 |
VZZ-400 |
VZZ-400S |
|
真空室 |
Φ400×H450mm； |
Φ400×H450mm； |
|
304不锈钢真空室，内表面镜面抛光； |
304不锈钢真空室，内表面镜面抛光； |
|
|
真空系统 |
复合分子泵+合资机械泵； |
进口磁悬浮分子泵/低温泵+进口干泵； |
|
极限真空 |
优于5×10-5Pa（3.75×10-7Torr）； |
优于3.0×10-6Pa（2.0×10-8Torr）； |
|
恢复真空时间 |
达到5×10-4Pa≤20min； |
|
|
蒸发源 |
3～6组蒸发源；至少2组共蒸 |
|
|
蒸发电源 |
2KW，精度0.1A；专业真空蒸发电源，恒流/恒功率控制。电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能； |
|
|
基片台 |
120mm方形基片或15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板； 基片台可选择加热（室温～300℃可调可控）或水冷 |
|
|
速率和膜厚监控 |
监测厚度范围：0.1Å～99µ9999Å，分辨率0.1Å；监测速率范围：0.1Å～9999.9Å.S/s，分辨率0.1Å |
|
|
电控系统 |
手动按钮继电器逻辑控制； |
可实现全自动控制，可编程控制器（PLC） |
|
报警及保护 |
完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护；系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。 |
|
|
选配 |
冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源 |
|
|
设备配电 |
电压：AC380V/50HZ |
|
|
功率：≤6KW |
||
|
设备尺寸 |
长×宽： 1280mm×860mm |
|
|
型号推介 |
所有配置均为国产一线或进口品牌，性能稳定可靠 |
核心配置均为进口知名品牌，技术先进，该型号产品可替代进口 |
技术支持&服务：
1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出最优的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。
2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。
3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）
4. 终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费，免除一切人工费用。
