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高真空电阻蒸发镀膜设备-可嵌入手套箱

VZB-400型蒸镀设备的主要用户群体为大专院校和科研院所,该设备将真空蒸发镀膜工作室置于手套箱无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD与Glove box硬件无缝对接,操控融合一体,实现试验样品在手套箱环境中完成旋涂、蒸镀、测试等工艺流程。

产品详情

VZB-400型高真空电阻蒸发镀膜设备(以下简称“蒸镀设备”)的主要用户群体为大专院校和科研院所,该设备将真空蒸发镀膜工作室置于手套箱无水、无氧、无尘的超纯环境中,PVD与Glove box硬件无缝对接,操控融合一体,实现试验样品在真空手套箱环境中完成旋涂、蒸镀、测试等工艺流程。

主要特点/优势:

      蒸镀设备前开门嵌入手套箱中,当前开门滑开,蒸镀设备工作室与手套箱操作间即为一体,因此不需要借助传递工具或者破空来转移试验样品;

      蒸镀腔体采用SUS 304不锈钢材料,腔体内表面包括屏蔽板全部镜面抛光,可以获得洁净的工作环境和良好的真空度;

      真空获得采用大抽速分子泵+直联旋片泵(内置防返油止逆阀)准无油真空系统,其中主泵采用1200L/s抽速复合分子泵,标配旁抽结构,可不停主泵开启真空室;

      蒸镀室真空极限优于2.0×10-5Pa,1~2h即可抽到9.9×10-5Pa;

      蒸发源“品”字形(3源)或圆周式(4~6源)等距分布,源间有隔板和独立挡板;

      蒸发电源;2台【2Kw 1台,3Kw 1台(蒸发高熔点材料或者沉积厚膜)】蒸发电源,可实现两源共蒸;电源可切换恒流/恒功率控制模式,可以预设工作电流;

      操控系统:PLC+触摸屏,程序互锁、防误操作、简单易学。

主要技术指标:

型号

VZB-400

VZB-400Pro

真空室

L×W×H400×400×470mm(净尺寸)

L×W×H400×400×470mm(净尺寸)

304不锈钢真空室,内表面镜面抛光;

304不锈钢真空室,内表面镜面抛光;

真空系统

复合分子泵+合资机械泵;

进口磁悬浮分子泵/低温泵+进口干泵;

极限真空

优于2.0×10-5Pa1.0×10-7Torr);

优于3.0×10-6Pa2.0×10-8Torr);

恢复真空时间

达到4.0×10-4Pa≤20min

蒸发源

36组蒸发源;至少2组共蒸

蒸发电源

2KW,精度0.1A;专业真空蒸发电源,恒流/恒功率控制。

电流、功率可以预先设置,可实现一键启动和停止的自动控制功能

基片台

110mm方形基片或1525mm ITO/FTO玻璃25片,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板

基片台可选择加热(室温~300可调可控)或水冷

速率和膜厚监控

监测厚度范围:0.1Å99µ9999Å,分辨率0.1Å;监测速率范围:0.1Å9999.9Å./s,分辨率0.1Å/s

电控系统

PLC+触摸屏手自一体控制

全自动控制,PC+PLC+触摸屏

报警及保护

完善的程序互锁,完备的防误操作设计及保护;

系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。

选配

手套箱/冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源

设备配电

电压:AC380V/50HZ

功率:≤6KW

设备尺寸

×1625×750mm

型号推介

所有配置均为国产一线或进口品牌,性能稳定可靠

核心配置为进口知名品牌,技术先进,替代进口设备

技术支持&服务

1. 技术支持:在合同签订之前,我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下,为客户做出最优的选型和方案设计,使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等,以帮助客户做出正确的选择。

2. 安装与培训:在产品使用前,我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。

3. 产品质保:我们对产品提供12个月的质保期,在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。(耗材和易损件除外)

4. 终身维护:我们对提供的产品提供终身服务,对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费,免除一切人工费用。